クリーンルーム規格（ISO 14644）とは？
くりーんるーむきかく
空気中のちりの量でクリーンルームを分類する国際規格だよ。
部屋の中に浮かんでいるちりの粒の数を測って、どれだけきれいな部屋かをクラスで分ける国際基準のことだよ。
つかいかた・れいぶん
半導体を作るクリーンルームはISO 1という世界一きれいな空気の基準に合わせているよ。
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