マスフローコントローラーとは？
ますふろーこんとろーらー
ガスの 流れる 量を 正確に 調節する 装置だよ。
「気体が 1分間に どれだけ ながれるかを 正確に 計って 調節する 装置」だよ。
つかいかた・れいぶん
半導体を つくる 装置に マスフローコントローラーが 使われる。
このことばを シェア
さいごの こうしん: