化学気相堆積とは？
かがくきそうたいせき
ガスを 熱で 分解して 固体の 薄膜を つくる 方法だよ。
「気体の 原料を 熱した 板の 上で 反応させて 薄い 膜を つくる 方法」だよ。
つかいかた・れいぶん
CVDで シリコン窒化膜を 積み上げて 半導体を つくる。
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さいごの こうしん: