原子層堆積とは？
げんしそうたいせき
原子を 1層ずつ 積み重ねる 精密な 薄膜技術だよ。
「原料の ガスを 交互に 送って 原子を 1枚ずつ 積み上げる とても 精密な 方法」だよ。
つかいかた・れいぶん
ALDで 原子層単位で 絶縁膜の 厚さを 制御して 半導体を つくる。
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さいごの こうしん: