スピンコーティングとは？
すぴんこーてぃんぐ
回転する 基板に 液体を たらして 薄く 均一に 塗る 方法だよ。
「くるくる 回している 板の 中心に 液を たらすと 遠心力で 薄く のびる 方法」だよ。
つかいかた・れいぶん
半導体製造で スピンコーティングが フォトレジストを 均一に ぬる。
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さいごの こうしん: