フォトリソグラフィーとは？
ふぉとりそぐらふぃー
光で 微細な 回路パターンを 基板に 転写する 技術だよ。
「光を 当てた ところだけ 削れる 材料を 使って 細かい 回路の パターンを つくる 技術」だよ。
つかいかた・れいぶん
EUVフォトリソグラフィーで ナノサイズの 回路を 半導体に つくる。
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さいごの こうしん: