プラズマ化学気相堆積とは？
ぷらずまかがくきそうたいせき
プラズマで ガスを 活性化して 薄膜を つくる 方法だよ。
「電気で つくった プラズマで ガスを 反応させて 低い 温度でも 薄膜を はる 方法」だよ。
つかいかた・れいぶん
PECVDで ガラスに アモルファスシリコンを 低温で 成膜する。
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さいごの こうしん: